讲座题目：集成电路装备的动力学和运动控制技术

主讲人：丁晨阳

讲座时间：2025年6月18日 下午15:00

讲座地点：11号楼216会议室

讲座人简介：

丁晨阳，复旦大学研究员、博士生导师。本硕博分别毕业于西安交通大学、新加坡国立大学、荷兰埃因霍芬理工大学。曾在荷兰高校和企业从事半导体装备精密运动系统动力学和控制技术研究十余年。2019年加入复旦大学，先后入选了上海市和国家海外高层次人才项目。研究领域集中在集成电路装备的动力学和运动控制技术，包括多自由度耦合运动系统辨识方法和控制方法、超精密运动控制方法、主动减振控制方法、压电致动运动台及其控制技术、动力学建模和测量技术等。

欢迎广大师生积极参加，学习交流。

研究生处、智能感知与仪器学院

2025年6月13日